压力传感器作为工业自动化仪表——特别是变送器类仪表、重要的检测元件，其原理通常有谐振型、压阻型、电容型等，代表产品分别有横河公司的EJA系列硅谐振传感器、Honeywell的ST-3000系列硅压阻传感器、Rosemount的CDS-3151系列金属电容传感器。近年来，硅电容压力传感器作为变送器的重要检测元件越来越受到业界的重视和青睐，其原因是硅电容压力传感器与其他原理的压力传感器相比，有其明显的特点和优势。

关键词：压力传感器硅电容式产业化

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硅电容压力传感器及其产业化 徐开先 徐开先先生， 沈阳仪表科学研究院教授级高级工程师 关键词：压力传感器 硅电容式 产业化 压力传感器作为工业自动化仪表特别是变送器类仪表重要的检测元件，其原理通 常有谐振型压阻型电容型等，代表产品分别有横河公司的 EJA 系列硅谐振传感器 Honeywell 的 ST3000 系列硅压阻传感器Rosemount 的 CDS3151 系列金属电容传感器 近年来，硅电容压力传感器作为变送器的重要检测元件越来越受到业界的重视和青睐，其原 因是硅电容压力传感器与其他原理的压力传感器相比，有其明显的特点和优势 一 硅电容压力传感器的特点 硅电容压力传感器是利用硅基材料，应用电容原理，采用 MEMS 工艺制作的一类新型 压力传感器具有以下特点： 1稳定性好 硅电容压力传感器是一种结构型压力传感器，就检测原理而言，其稳定性就对温度不灵 敏温度附加误差小，不像硅压阻器件那样需进行复杂的温度补偿稳定性好是硅电容压力 传感器深受用户好感的主要原因之一，也是国产压力传感器长期存在不能产业化的原因之 一 2指标先进 电容压力传感......