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2018年11月03日 | 年产25吨ArF光刻胶!南大光电宁波项目今日开工

2018-11-03 来源:爱集微

集微网消息(文/春夏)11月2日,南大光电光刻胶材料及配套关键材料开发及产业化项目在浙江宁波北仑芯港小镇正式动工。



        南大光电是我国集高纯电子材料研发、制造和产业化于一体的上市公司。


        今年1月,南大光电与宁波经济技术开发区管理委员会签订投资协议书,南大光电拟在宁波开发区投资建设高端集成电路制造用193nm光刻胶材料以及配套关键材料研发及生产项目,项目总用地面积约86亩,其中一期总投资预计约9.6亿元,于2020年开始产业化,达产后年产值约3.75亿元。


        据中国宁波网介绍,宁波南大光电将在国内首次建立ArF光刻胶产品大规模生产线,形成年产25吨ArF(干式和浸没式)光刻胶产品的生产能力,同时南大光电还将建立国内第一个专业用于ArF光刻胶产品开发的检测评估平台。


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