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2019年03月15日 | Edwards 推出具有严苛制程能力的新型 iXH Mk2干泵
2019-03-15
Edwards 凭借长达 100 年的创新技术积淀，研发了引领严苛制程能力的全新标杆产品，同时兼具无与伦比的可靠性和更低的总体使用成本。
2019年3月14日英国西萨塞克斯，伯吉斯希尔讯 - Edwards 宣布推出具有严苛制程能力的新型 iXH Mk2系列干泵。该系列拥有高效性能，以低功耗著称，不仅能够满足当今半导体工艺的一切要求，还能应对未来半导体应用、显示器、LED、太阳能光伏制造工艺等领域的新兴挑战。新型 iXH Mk2 解决方案将于3月20日至22日在上海新国际博览中心举办的 SEMICON® China 亮相（FPD CHINA 展位1309）。
Edwards高级产品经理Al Brightman表示：“与前几代产品相比，新型 iXH Mk2干泵在最严苛的工艺环境下也能具有长久的服役寿命，还显著提高了能耗。凭借长达100年的创新技术积淀，我们研发了引领严苛制程能力的全新标杆产品，兼具无与伦比的可靠性和更低的总体使用成本。iXH 无惧半导体制造的严苛工艺环境。”
史海拾趣
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