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2020年12月03日 | 台积电现已采购35台EUV设备,占ASML过半产量

2020-12-03 来源:eefocus

台积电目前已采购 35 台 EUV 设备,占 ASML 过半产量,2021 年底采购总量将超过 50 台。相较之下,三星 EUV 设备采购量目前不到 20 台。

 

此前,EUV 光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星,双方寻求技术与投资合作。三星希望能抢在台积电之前,取得 ASML 下一代 EUV 设备供应。

 

业内人士分析称,三星积极追赶台积电,不过台积电在高良率与低功耗方面拥有优势。7nm 制程方面,台积电先推出 FinFET 架构的 7nm 技术,再推出使用 EUV 的 N7+制程。5nm 方面,三星与台积电仍有二成产能的差距。

 

台积电加速先进制程推进,累计 EUV 光刻机至 2021 年底将超过 50 台。相较之下,三星电子 2021 年还不到 25 台,同时 EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期。

 

未来几年全球对 EUV 光刻机的需求只会增加,但从目前的情况来看,在未来一段时间内,台积电仍将是这些光刻设备的主要采购者,三星和 Intel 将紧随其后。


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