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2021年04月26日 | 郑州大学研制出了晶圆级大面积高质量g-CN薄膜可控制备
2021-04-26 来源:爱集微
日前,郑州大学物理学院在石墨相氮化碳(g-CN)薄膜的可控制备和光电器件领域取得突破性进展,相关成果发表在Cell旗舰期刊《Matter》上。
据了解,g-CN是一种类石墨烯二维碳基层状材料,被称为可见光催化领域的“圣杯”。 然而,该材料虽可通过剥离处理及涂布制备薄膜,但其晶体质量、界面缺陷、表面粗糙度等均无法满足半导体光电器件的基本要求,阻碍了其在半导体器件领域的发展。因此,开发新的薄膜生长工艺,获得高质量g-CN薄膜对其在半导体器件领域的潜在应用非常重要。
针对该问题,课题组提出采用气相传输辅助缩聚的思路,通过促进衬底表面的前驱体横向迁移,解决了传统高温气相合成工艺中的非平衡缩聚问题,首次实现了晶圆级大面积高质量g-CN薄膜的可控制备。
同时,课题组开发出水辅助绿色湿法转移工艺,该工艺与现有微纳光刻工艺完全兼容,且以水为转移介质,无环境危害。在此基础上,课题组实现了基于g-CN薄膜的柔性大面积光电探测器阵列,并展示了其在成像领域的应用潜力。该研究解决了g-CN基半导体器件实现面临的材料大面积可控生长这一基础性问题,有望推动g-CN材料在半导体光电领域的应用发展。
该工作得到了国家自然科学基金、河南省科技攻关项目和深圳市基础研究项目的支持。
史海拾趣
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