2021年12月09日 | Advanced Energy 的10kW电源配备先进脉冲功能

2021-12-09 来源：EEWORLD

Advanced Energy 的10kW电源配备先进脉冲功能，让生产商可充分利用极度精确和可客制的等离子电源控制功能

这款 Ascent® SMS AP 电源配备性能更高的电弧管理功能，另外还内置制程工艺特性分析功能，因此可以通过配置优化产量和生产良率

北京，中国 - Media OutReach - 二零二一年十二月九日 - Advanced Energy 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案，这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出等离子电源系列的另一款新产品，这款全新的10kW脉冲直流电源不但配备领先业界的电源和控制功能，而且还预装了 PowerInsight by Advanced Energy 这套嵌入式制程工艺优化程序。这款 Ascent® SMS AP (先进脉冲) 电源配备已注册专利的脉冲技术，成功将优化的电弧管理和精确的等离子电源控制功能引进到技术要求极为严格的薄膜沉积应用之中，其中包括半导体以至太阳能光伏电池生产等方面的应用。

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这款10kW Ascent SMS AP 电源的外型小巧，但其安全工作区(SOA)范围极为宽广，例如峰值电压高达1200V，而频率则介于0.5至150kHz之间。这款电源的渐进式电弧管理系统共有4个不同的单元，而且可支持全范围反向电压操作，是目前业界极为先进的电源解决方案，所存储的电弧能量最少，而且所提供的电弧参数均可自我调节，让有关参数可以按照制程工艺步伐灵活调节。其中输出的先进脉冲(AP)波形可以支持升压、反向电压控制以及先进脉冲整形等功能，以便因应薄膜型态和要求的薄膜特性实现波形的微调。

Advanced Energy 等离子电源产品高级市场营销总监 Dhaval Dhayatkar 表示：「Advanced Energy 将会继续致力于提升脉冲直流电源的性能，确保这系列产品适用于单靶磁控溅射方面的应用，而且还有旧式产品所无的适应能力。这款全新的10kW Ascent SMS AP 电源充分利用 Advanced Energy 的许多尖端技术，其中包括可高度配置的波形、渐进式电弧管理、优于同级产品的安全工作区(SOA)范围、宽广的频率范围、以及我们公司的 PowerInsight 制程工艺优化软件，让我们的客户可将先进半导体制程工艺技术的精准度、可重复性和生产良率提升至最高的水平。」

这款全新的电源产品是 Advanced Energy 首款预装了 PowerInsight 制程工艺特性分析应用程序和相关优化软件的电源。这套PowerInsight软件可搜集、分析和转译来自关键馈电系统的资料，让用户可利用这些极为实用的资料优化制程工艺，以提升产量和生产良率，以及减少无法预测的制程工艺设备故障停机时间。由于 Advanced Energy 这系列脉冲直流电源内置 PowerInsight 软件，因此可减少出现电弧的次数，并可提高沉积率，改善薄膜层的形态和特性。

Advanced 电源配备脉冲功能

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