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2021年12月09日 | 中微公司：Prismo UniMax MOCVD设备订单超100过腔
2021-12-09 来源：爱集微
12 月 9 日，中微公司在其官微宣布，旗下的 Prismo UniMax MOCVD 设备订单超 100 腔，迎来新的里程碑。MOCVD 意为一种新型气相外延生长技术，可以在衬底上生成金属有机化合物的化学气相沉淀。
据悉，中微公司的 Prismo UniMax MOCVD 设备于今年 6 月发布，主要用于氮化镓基 Mini LED 外延片的量产，Mini LED可被广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。
中微公司所开发的Prismo UniMax® MOCVD设备凭借优异的波长均匀性、高能效和高产能等优势迅速获得了市场认可；专业及时的现场支持和客户服务也是客户看重的优势之一。产品正式发布半年内取得超过100腔订单，这一卓越里程碑进一步巩固了中微公司在MOCVD设备市场的领先地位。
资料显示，Prismo UniMax® MOCVD设备专为高性能Mini LED量产而设计，通过创新的多区温度调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度上提升LED波长均匀性。此外，优化的喷淋头设计实现了更好的均匀性和产出稳定性，新一代直流电源进一步提升了电能转化效率。
Prismo UniMax®具有行业领先的高产能和生产灵活性。设备配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计，最多可以同时加工 164片4英寸或72片6英寸外延晶片，能提高产能并有效降低Mini LED生产成本。Prismo UniMax®在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔都可以独立控制。
中微公司指出，Prismo UniMax®是MOCVD设备系列的最新产品，该系列产品还包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®和Prismo HiT3®。2013年，Prismo D-BLUE®作为当时国内率先自主研发制造的量产型MOCVD设备正式发布。此后，公司相继发布Prismo A7®和Prismo HiT3®产品。如今，中微公司的MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上全面投入量产。
中微公司执行副总裁兼首席运营官杜志游博士认为，Prismo UniMax®被客户迅速采用主要归功于中微公司在MOCVD设备和工艺领域的持续创新，并与领先客户保持密切合作。“随着客户进一步拓展新的应用，我们很自豪能通过极具竞争力的技术解决方案，来满足客户Mini LED大规模量产的需求。这一里程碑充分证明了我们Prismo系列MOCVD设备的性能优势，以及我们在客户合作中体现的值得信赖的专业技能。”
史海拾趣
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