中芯国际12英寸芯片生产线在沪投产
2007-12-11 来源:电子工程世界
12月10日 中芯国际上海12英寸芯片生产线10日在上海浦东张江高科技园区成功投产。
此前,中芯国际在北京的两条12英寸芯片生产线和无锡海力士12英寸芯片生产线都还只能达到量产90纳米芯片的水平。而随着全球集成电路的快速发展,全球芯片产业已逐渐进入65纳米、甚至45纳米时代。
中芯国际总裁兼首席执行长张汝京说,上海12英寸芯片生产线的首批产品仍将是90纳米芯片,但与其他3条生产线以存储器芯片为主的状况不同,上海生产线将以技术工艺要求更高的90纳米逻辑芯片作为主导产品。
张汝京说,中芯国际上海生产线已经引进了目前国内唯一一台浸润式光刻机,“有了它,我们就可以做45纳米芯片的量产,而不仅仅是测试”。中芯国际上海生产线在积极酝酿65纳米芯片和45纳米芯片的生产,并计划在明年年底试投产45纳米芯片。
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