发布时间：2025-08-12

随着芯片制程迈入3nm时代，晶圆传输过程微振动控制成为新挑战。创新方案将EFEM机械臂与压电抑振平台结合： 传统流程： 晶圆拾取 → 机械臂传输 → 振动误差累积 → 放置精度±30μm 压电平台预校准 → 气浮导轨传输 → 实时振动补偿 → 放置精度±1.5μm 研发实力 13年专注半导体设备核心部件； 3000㎡研发中心配备激光干涉仪等检测设备； 与哈工大合作开发自适应控...

发布时间：2010-06-10

Crossing Automation公司（ www.crossinginc.com ）今天宣布，其开发的Spartan™设备前端模块（EFEM）已被一家顶尖的光刻与量测设备产商选择用于第二代量测工具。Crossing是一家向大规模半导体设备产商提供高效且能有效降低成本的前端与后端工艺自动化解决方案的领先供应商。 Spartan EFEM之所以被选中，是因为一方...

发布时间：2010-03-30

为大规模半导体设备制造商提供高效节能的前端与后端自动装置解决方案及工程服务的供应商Crossing Automation公司 ( www.crossinginc.com )今天宣布，已经提高公司的Spartan设备前端模块（EFEM）的性能，将其每小时的加工能力提高至450张晶圆。改进设计的目的是满足高通量半导体制造工艺如剥离/去胶、清洗和离子注入的需要。由于拥有专有的...