发布时间：2006-11-23

明尼阿波利斯 — FSI 国际有限公司 ( 纳斯达克 :FSII) 14日宣布，推出全新的选择性氮化物蚀刻工艺。 该工艺采 用 FSI国际的 MAGELLAN 浸泡式清洗系统，可以抑制氧化硅和硅的侵蚀并避免产生大量微粒。这些应用在 FSI 实验室中通过使用客户的晶圆得以开发和验证，并已成为先进的 45nm 工艺项目的一部分。此外，这些应用对前几代技...

发布时间：2006-06-20

美国明尼阿波利斯， 2006 年 6 月 － FSI 国际有限公司（ Nasdaq: FSII ）日前宣布：一家世界领先的美国 IC 制造商已经向其发出一份订单，订购多套该公司的 200/300mm MAGELLAN 浸泡式清洗系统，此项订单缘于 MAGELLAN 系统领先同类产品的微粒去除能力及刻蚀均匀度。该机台将用于芯片生产，预计将...