发布时间：2016-12-08

引言 化工合成对温度检测与控制要求较高，是化工合成工艺的关键环节。对化工合成装置的温度进行检测，并按工艺要求，控制最高加热温度；在升温阶段，控制合成温度以每小时15℃的速率上升；加入触媒以后的温度采用恒值控制：前期为370℃，中期为380℃，后期为390℃；控制精度为±3℃l最高温度连续三次达到400℃时发出报警信号。显示检测温度值；每半小时打印一次最高温度值及检测时间；...

发布时间：2011-07-26

    西安邮电学院于2006年引进北京航天时代电子公司第772所一条闲置集成电路生产前端工艺线（14台工艺设备），建立了集成电路工艺实验室，为微电子学、集成电路设计、系统集成以及电子信息类相关专业学生提供集成电路工艺生产实习及实践环境。在这14台工艺设备中，有高温双管扩散炉L4513Ⅱ-12/ZM 3台，主要供学生进行半导体工艺中扩散工艺的相关实验。这四台设备均为上个世纪8...

发布时间：2009-02-19

引言 　　西安邮电学院于2006年引进北京航天时代电子公司第772所一条闲置集成电路生产前端工艺线（14台工艺设备），建立了集成电路工艺实验室，为微电子学、集成电路设计、系统集成以及电子信息类相关专业学生提供集成电路工艺生产实习及实践环境。在这14台工艺设备中，有高温双管扩散炉L4513Ⅱ-12/ZM 3台，主要供学生进行半导体工艺中扩散工艺的相关实验。这四台设备均为上个世...