发布时间：2020-07-01

据悉，中国电子科技集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机，成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平。 据了解，电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机，实现中国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新发展，并将为全球芯片制造企业提供离子注入机成套解决方案。 图源：新华社 离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预...