2018年12月21日 | 掩模行业取得巨大技术进步

2018-12-21 来源：中国电子报

时光飞逝，时间已经进入21世纪，40年改革开放以来电子信息产业取得的巨大成绩有目共睹！今天集成电路相关的技术和产业发展极快，令人难以想象，在当今这个高速信息时代，其以超摩尔定律的速度带给社会生活无穷的创新和改变，推动着现代信息产业的快速发展。

伴随集成电路的发展，随之而来的首先是半导体（集成电路）光刻技术的发展，光刻技术经历了从最初的接触/接近式光掩模技术起步，之后为了克服掩模缺陷和分辨率的进一步缩小，迫使工艺技术人员进一步寻求新的光刻方法来满足批量生产和线宽缩小的要求，1976年美国GCA公司首先开发出了全球首台分步重复投影曝光机系统，此后几年间业界成功开发出具有更大曝光视场的步进扫描投影曝光机，随着这种曝光技术的不断成熟，进一步将集成电路图形线宽推进到0.35μm节点，相应的掩模制版技术也得到了大幅提升。今天的世界最先进光刻技术已经跨越到了7nm。

20纪纪80年代初期伴随着国内集成电路产业的发展，国内相关科研机构和工厂陆续开始进行集成电路用掩模研究和生产。改革开放的40年，掩模行业也从最初的零星的、分散的小厂和车间，技术水平10μm节点以上，发展到今天以凸版光掩模、华润掩模工厂、无锡中微掩模以及中芯国际等内配掩模为主的规模企业，整体技术水平已经达到最高28nm节点，技术进步是巨大的，同时极大地缩小了与国际先进水平的差距，为产业发展打下了坚实基础。

结合市场需求推进掩模项目

40年的改革开放带来了我国经济社会的深刻变化，也为我国集成电路产业的发展注入了新的生机与活力。无锡中微掩模的建设实践成功印证了发展带来的新活力！

集成电路技术和产品市场的变化极快，新技术、新工艺不断快速涌现，只有很好地把握住市场需求变化的要求，紧跟市场变化的步伐，项目建设才能取得成功。无锡中微掩模项目的建设就是充分了解了国内掩模市场的需求和变化，针对国内已有晶圆代工和大量设计公司的现实需求和未来发展要求，经过充分论证而实施的。技术节点瞄准8英寸晶圆生产线的掩模需求，直接建成具备研发和生产130nm集成电路用掩模的公共服务平台，项目投产后，发挥了应有的作用。

在集成电路技术发展迭代迅速的今天，产业融合模式创新成为当今企业在竞争中获胜的重要因素。产业生态从最初的IDM模式正在向FABLESS、FOUNDRY模式分化，世界上主要的几家专业大厂仍然以IDM的模式快速发展成为行业翘楚，但是另外更多地二线企业是向着既分工、又协同的合作发展模式转变，也取得了不俗的成绩。因此，国内掩模产业的发展更应该遵循合作发展的理念，要坚持中国特色发展之路，也要借鉴学习其他国外优秀企业的发展经验，摸索和走出一条适合国情的自我发展之路。

集成电路产业首先是一项系统工程，通常是资金密集、人才密集产业，项目建设起点越高投入资金越大。必须形成相应规模的生产、研发能力，具备一定的规模，形成规模经济，才能保持良好的发展。同时为了紧随不断变化的市场需求和行业整体技术水平的不断提升和产能的扩充，需要持续不断地资金投入。在人才引进和培养方面要着力打造一支具备一流的工艺技术、芯片设计和管理人才队伍，保证技术、产品的不断创新和企业高效运营。在技术储备和引进工作中要形成自有的先进工艺技术和芯片设计服务能力，拥有一批自主的知识产权和专利。

实践证明，国内外集成电路产业大多采用集中人力物力，集中建设，上下游融合，抱团规划共谋发展的战略，行业发展更多的是相互合作，而不是单打独斗的局面。集成电路用掩模产业的发展就是在这种背景和发展思路的指导下，逐步建立和发展起来的，行业内的企业间更多的是协同、合作、支持。

掩模项目的成功建设就是在政府的大力支持下，结合市场的细分了解和客户需求，全面评估后作出的正确选择，项目建成后取得了较好的社会效益和企业发展。

掩模产业发展迎来机遇期

我国集成电路产业发展面临着前所未有的新机遇。一方面，我国逐步成为世界上集成电路最大的消费国，另一方面未来几年国内和国际知名企业纷纷登陆中国建设新的晶圆厂。以上产业市场的积极变化，对掩模行业的配套发展可以说是重大历史机遇，我们要在清醒认识自我的同时，抓住机遇，群策群力，全方位、大视野、大格局的有效开展项目论证和建设，扩大国际合作的深度与广度，多渠道、全方位开展合作，实现掩模行业飞跃发展。

创新是产业发展的灵魂，是不竭的动力。掩模产业的创新发展应不仅停留在技术、管理上，更应该把制度、体制创新放在突出位置，激发人才的主观创造性，最终打造出企业长期发展的核心竞争力。

当今科技和产业的发展，带来了社会生活的巨大变革，我们注意到在物联网、大数据、AI智能应用逐步普及的今天，集成电路的发展和应用需求发生着巨大的变化，以新能源、智慧产业、数据分析等领域的这些将深刻影响我们未来生活的应用，极大推动了半导体产业的发展，它将有可能成为影响未来经济社会发展的大产业。

回首过去，我们满怀信心！展望未来，我们壮志不已！相信集成电路掩模产业必将迎来发展的新时代！

掩模

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