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2020年06月12日 | 专利揭秘—上海天马微电子液晶互连组件
2020-06-12 来源：集微网
国内面板产业已经形成京东方、TCL华星的双雄格局，但北海惠科光电的互连组件方面的专利正在被TCL华星进行专利无效挑战。
惠科是液晶显示面板生产销售商，主要为电视等设备提供显示面板，然而最近互连组件方面的专利却被TCL华星发起无效挑战。
图1 现有互连组件示意图
在半导体制造领域，器件通常为多层结构且必须保证不同层直接的电性连接，因此需要在各个导电层上形成连通的接触孔。图1展示了现有的互联组件示意图，通过导电层11、12，绝缘层13、14以及接触孔15a、15b共同形成了导电互连层16。然而由于受到制造工艺的影响，常会发生接触孔位置腐蚀、导电层刻蚀角度不达标、静电难以释放等问题，导致半导体器件导电层之间发生断路且通常难以修复，造成器件的不可逆损坏。
为解决半导体技术领域这一问题，上海天马微电子有限公司于2009年5月12日提出一项名为“互连组件、其制造方法及其修复方法”的发明专利（申请号：200910051400.4），申请人为上海天马微电子有限公司，但是该专利已经转移给北海惠科光电技术有限公司。
图2 发明专利提出的互连组件示意图
图2是该发明专利针对现有互联组件改进的示意图，包括基底300、第一导电层311、第二导电层312、导电层之间的绝缘层、互连层316、接触孔315a和315b以及修复结构317。接触孔位于导电层上的绝缘层中，使得互连层和导电层电气连接。另外，修复结构317也为导电材料，位于第二导电层312上方，并与第一导电层311导电互连。
针对现有技术中由于腐蚀或静电导致的导电层和互连层之间的断路问题，该发明专利特别设置了修复结构317。如果由于以上原因导致第二接触孔315处的第二导电层312和互连层316发生断路，进而造成第一导电层311和第二导电层3t2断路；则可通过激光焊接修复结构317和第二导电层312，使修复结构和第二导电层导电互连，从而使得第一导电层311和第二导电层3t2之间的断路被修复。这种设计结构可以大大减少由于接触孔处出现断路导致的产品报废。
图3 互连组件修复方法流程图
同时，专利还提出了组件修复流程。如图3所示，分别利用激光在第一区域和第二区域处的修复结构处进行激光焊接，从而使互连层在导电层上方的延伸部分与导电层焊接以形成电气连接，完成结构修复。
惠科的这项专利技术能够非常方便的解决互连组件出现断路时较难修复或在修复过程中对互连组件造成损坏的问题，并且已经应用到了多项产品并投入市场，具有较高的技术实用性。
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