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2021年02月21日 | PVD等设备超150台，北方华创集成电路装备项目或在6月竣工
2021-02-21 来源：爱集微
在北京经开区，高端集成电路装备研发及产业化项目、中芯京城集成电路生产线项目等7个项目“春节不打烊”，持续施工。
其中，高端集成电路装备研发及产业化项目90余名工人坚守岗位，确保项目建设不停工。据北京亦庄消息，该项目经理表示，目前正在装饰装修阶段，该项目预计6月初全部竣工，并将交付业主使用。
据悉，该高端集成电路装备研发及产业化项目为地下2层、地上10层，将建设28纳米以下集成电路装备工艺验证及产业化条件，搭建5或7纳米先进工艺设备测试验证平台，进行先进半导体工艺装备研发及产业化。项目建设完成后，将具备年产刻蚀机、PVD、退火炉、立式炉、清洗机等设备150台以上的能力。
而根据此前中建大成建筑有限责任公司消息来看，该项目为北方华创高端集成电路装备研发及产业化项目。
史海拾趣
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