2021年08月15日 | 光刻领域又加码？华为哈勃入股徐州博康

2021-08-15 来源：爱集微

企查查显示，8月10日，徐州博康信息化学品有限公司（以下简称“徐州博康”）发生多项变更。其中，投资人新增深圳哈勃科技投资合伙企业(有限合伙)，注册资本从“7600.9499万元”增加到“8445.4999万元”。

图片来源：企查查

徐州博康官方消息显示，徐州博康成立于2010年，属博康集团旗下材料版块企业，是集研发、生产、经营中高端光刻胶、光刻胶单体和光刻胶树脂为主的国家高新技术企业，是中国目前唯一规模化生产中高端光刻胶单体材料的企业。公司承担国家02专项、国家产业振兴和技术改造项目，同时为了扩大产能，延伸产业链，公司进行搬迁技改，新建“年产1100吨光刻材料及10000吨电子级溶剂”项目。

据介绍，徐州博康所从事中高端光刻胶单体生产技术处于国内先进，其中五种产品被认定为市高新技术产品，尤其在193nm光刻胶单体生产方面，拥有完全自主知识产权。其产品线涵盖193nm/248nm光刻胶单体、193nm/248nm光刻胶、G线/I线光刻胶、电子束光刻胶等产品。目前已成功开发出40+个中高端光刻胶产品系列，包括多种电子束胶，ArF干法光刻胶， KrF正负型光刻胶，I线正负型光刻胶及GHI超厚负胶，应用于IC集成电路制造多个环节。

此外，徐州博康一直与中科院微电子所建立校企联盟，现与中科院微电子研究所、化学所、复旦大学等相关高校科研机构开展多层次合作，积极致力于我国光刻材料产业的发展，为国家光刻胶单体技术的研发做出进一步的贡献。

值得一提的是，今年6月4日，哈勃科技投资有限公司新增一家投资企业——北京科益虹源光电技术有限公司（以下简称“科益虹源”）。科益虹源于2016年7月，由亦庄国投、中国科学院微电子所、国科科仪等共同出资设立，是国内少数具备高端准分子激光技术自主研究和产品化能力的公司，也是国家02重大专项“浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设”的成果产业化载体。

光刻

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