发布时间：2023-03-03

英飞凌持续占据MEMS麦克风市场的领先地位，推出采用小型封装且超低功耗的全新PDM麦克风 【2023 年 03 月 03日，德国慕尼黑讯】 英飞凌科技股份公司 已经连续三年稳居MEMS麦克风市场的领导地位。根据专业技术公司Omdia最近发布的研究报告显示，2022年英飞凌在麦克风裸片制造市场的份额提升至惊人的45%1。 英飞凌凭借在MEMS麦克风设计和量产方面积累的深厚经...

发布时间：2020-06-23

传感器半导体技术的开发成果日益成为提高传感器集成度的一个典型途径，在很多情况下，为特殊用途的MEMS（微机电系统）类传感器提高集成度的奠定了坚实的基础。 本文介绍一个MEMS光热传感器的封装结构以及系统级封装（SIP）的组装细节，涉及一个基于半导体技术的红外传感器结构。传感器封装以及其与传感器芯片的物理交互作用，是影响系统整体性能的主要因素之一，本文将重点介绍这些物理要素...

发布时间：2020-05-02

随着传感器、物联网应用的大规模落地，微机电系统（MEMS）在近些年应用越来越广泛，MEMS的存在可以减小电子器件的大小。同时，与之相对应的MEMS封装也开始备受关注。 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是集微机械结构、电子电路、微执行器、通讯等于一体的可批量制作的微型器件或系统，具有体积小、成本低、功耗低、易于集成和智能化等特点。ME...

发布时间：2019-03-13

意法半导体（ST）近日推出LPS33W防水型MEMS压力传感器结合了化学兼容性、稳定性和准确性，可用于各种应用，如健身应用或其他可穿戴设备，真空吸尘器和通用工业传感等。 IPx8级LPS33W由圆柱形金属封装内的粘性灌封胶保护，可承受盐水，氯，溴，洗手液，洗发水，电子液体和轻工业化学品（如正戊烷）等洗涤剂。封装盖提供高耐腐蚀性，圆柱形外形易于在需要密封外壳的应用中使用O形圈。...

发布时间：2017-11-15

　　 MEMS 的特点是设计和制造技术多而广，且没有标准化工艺。 MEMS 的应用范围具有广泛且分散的特点。因此， MEMS 封装 必须能满足不同应用的需求，例如在不同介质环境中的保护能力、气密性、互连类型、热管理等。从消费类应用的低成本 封装 方式到汽车和航空行业的耐高温和抗恶劣气候的高可靠性 封装 ;从裸露在大气环境下的封装方式到密闭式的封装方式，各种封装类型对MEMS封...

发布时间：2014-09-20

本文提出了一种基于MEMS的 LED芯片 封装技术，利用体硅工艺在硅基上形成的凹槽作为封装led芯片的反射腔。分析了反射腔对 LED 的发光强度和光束性能的影响，分析结果表明该反射腔可以提高芯片的发光效率和光束性能；讨论了反射腔的结构参数与芯片发光效率之间的关系。最后设计r封装的工艺流程。利用该封装结构可以降低芯片的封装尺，提高器件的发光效率和散热特性。 图1 LED T...

发布时间：2014-08-28

本文提出了一种基于MEMS的 LED芯片 封装技术，利用体硅工艺在硅基上形成的凹槽作为封装led芯片的反射腔。分析了反射腔对 LED 的发光强度和光束性能的影响，分析结果表明该反射腔可以提高芯片的发光效率和光束性能；讨论了反射腔的结构参数与芯片发光效率之间的关系。最后设计r封装的工艺流程。利用该封装结构可以降低芯片的封装尺，提高器件的发光效率和散热特性。 图1 LED T...

发布时间：2014-08-22

本文提出了一种基于MEMS的 LED芯片 封装技术，利用体硅工艺在硅基上形成的凹槽作为封装led芯片的反射腔。分析了反射腔对 LED 的发光强度和光束性能的影响，分析结果表明该反射腔可以提高芯片的发光效率和光束性能；讨论了反射腔的结构参数与芯片发光效率之间的关系。最后设计r封装的工艺流程。利用该封装结构可以降低芯片的封装尺，提高器件的发光效率和散热特性。 图1 LED T...

发布时间：2013-11-27

中心议题： * 提出基于MEMS的LED芯片封装技术 * 分析反射腔对LED的光强和性能的影响 * 讨论反射腔参数与芯片发光效率的关系 解决方案： * 利用体硅工艺形成的凹槽作为封装led芯片的反射腔 * 设计r封装的工艺流程 经过几十年的发展，LED性能已经得到了极大的进步，由于它具有发光效率高，体积小，寿命长等优点，将成为新一代照明光源，被人们公认为是继白炽灯之...

发布时间：2013-11-19

A. 常规应力分析 常规应力分析用于确定不同封装阶段存在高应力的位置。假设芯片边缘没有缺陷。图3显示了感应单元基片在模压阶段存在高应力的位置基片与外罩晶圆以及玻璃熔块之间的接触位置承受的弯曲压力最大。因为外罩晶圆与湿法腐蚀工艺存在一个~54o的角度，因此存在几何不对称以及一个应力奇异性。这一区域的应力量级对网状形状敏感，并且会随着网状结构的加密而升高，但是应力分布是有效...