发布时间：2024-09-13

据国家电力投资集团官方消息，近日，集团所属国电投核力创芯（无锡）科技有限公司核力创芯暨国家原子能机构核技术（功率芯片质子辐照）研发中心，完成了首批氢离子注入性能优化芯片产品客户交付。 这标志着，我国已全面掌握功率半导体高能氢离子注入核心技术和工艺，补全了我国半导体产业链中缺失的重要一环，为半导体离子注入设备和工艺的全面国产替代奠定了基础。 工程师进行晶圆离子注入生产 ...

发布时间：2023-06-30

对于许多仍在使用旋转轮的离子注入设备，大颗粒粒子可能掉落在晶圆表面，这如同一个高速导弹与建筑物的墙壁碰撞。在先进中，晶圆必须经过15〜20道离子注入过程，粒子导致成品率损失的效应是累计性的，所以必须降低污染粒子在每一道离子注入过程中的增加量。 利用激光扫描整个晶圆表面，并使用光感测器收集、转换以及放大由粒子引起的散射，就可以到晶圆表面的粒子。一般情况下，最小尺寸粒...

发布时间：2023-06-30

对于许多仍在使用旋转轮的离子注入设备，大颗粒粒子可能掉落在晶圆表面，这如同一个高速导弹与建筑物的墙壁碰撞。在先进中，晶圆必须经过15〜20道离子注入过程，粒子导致成品率损失的效应是累计性的，所以必须降低污染粒子在每一道离子注入过程中的增加量。 利用激光扫描整个晶圆表面，并使用光感测器收集、转换以及放大由粒子引起的散射，就可以到晶圆表面的粒子。一般情况下，最小尺寸粒...

发布时间：2020-07-01

据悉，中国电子科技集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机，成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平。 据了解，电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机，实现中国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新发展，并将为全球芯片制造企业提供离子注入机成套解决方案。 图源：新华社 离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预...

发布时间：2020-06-19

烁科中科信宣布，12 英寸中束流离子注入机顺利搬入集成电路大产线，此举标志着国产离子注入机市场化进程迈向新台阶！ CMOS 工艺的发展极大推动了离子注入（Ion Implantation）工艺的发展，也可以说离子注入工艺的不断成熟进一步改善了集成电路产品的质量，尤其是 CMOS 产品的性能，当线宽进入亚微米后，离子注入在整个集成电路制造前工序中更成了不可或缺的一个工艺流...

发布时间：2020-06-17

据悉，国内重要的 12 英寸晶圆芯片制造厂及存储器芯片设计制造厂已对万业企业旗下凯世通集成电路离子注入设备启动认证程序，万业企业集成电路前道装备业务获得巨大突破。 万业企业表示，公司已明确凯世通以集成电路离子注入机为发展重心，对其在集成电路领域的销售策略及生产安排也做了相应的优先调整，积极开拓其他业务合作伙伴，日前也已取得离子注入平台业务订单。未来有望为全球先进制程逻辑、...

发布时间：2020-06-17

6月16日晚间，万业企业（600641.SH）就上交所年报问询进行了回复，进一步说明公司向集成电路领域转型的实施情况及产品进展等内容。公告显示，国内重要的12英寸晶圆芯片制造厂及存储器芯片设计制造厂已对万业企业旗下凯世通集成电路离子注入设备启动认证程序，万业企业集成电路前道装备业务获得巨大突破。 鉴于目前国际形势，芯片国产化需求日益迫切，在国内集成电路制造厂尽可能采购国内设备...

发布时间：2020-06-08

随着中国“芯”浪潮的推进，半导体国产替代进程也已进入到白热化状态。万业企业（600641）旗下凯世通半导体作为本土唯一全领域离子注入机企业，稳扎稳打地深耕于国产核心设备行业，致力于将公司打造成中国集成电路装备的大国重器。 近日，东方财经《科创先行者》栏目到访万业企业旗下凯世通进行采访。进一步了解到，凯世通已研发出最新的集成电路离子注入机，其定位是超高先进半导体工艺的低能大束...

发布时间：2018-08-07

　　中证网讯 （记者 孙翔峰 实习记者 陈星颐、陈心怡）在8月6日下午举行的万业企业发行股份购买资产媒体说明会上，凯世通原实际控制人、董事长兼总经理陈炯表示，凯世通未来的发展重点方向为太阳能离子注入机和集成电路业务。 　　太阳能离子注入机方面，凯世通未来将继续对现有太阳能离子注入机的改进和升级，保持凯世通在太阳能离子注入机领域的技术和市场领先。 　　集成电路离子注入机领域，...

发布时间：2017-12-24

电子网消息，据国家国防科技工业局网站报道， 日前，中电科电子装备集团有限公司(以下简称电科装备)传来好消息，自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，首台200mmCMP设备实现了销售。这是电科装备承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项(以下简称02专项)所取得重大成果的缩影。　　 自2008年至今，电科装备共承担了02专项“9...