发布时间：2020-07-01

据悉，中国电子科技集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机，成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平。 据了解，电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机，实现中国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新发展，并将为全球芯片制造企业提供离子注入机成套解决方案。 图源：新华社 离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预...

发布时间：2020-06-19

烁科中科信宣布，12 英寸中束流离子注入机顺利搬入集成电路大产线，此举标志着国产离子注入机市场化进程迈向新台阶！ CMOS 工艺的发展极大推动了离子注入（Ion Implantation）工艺的发展，也可以说离子注入工艺的不断成熟进一步改善了集成电路产品的质量，尤其是 CMOS 产品的性能，当线宽进入亚微米后，离子注入在整个集成电路制造前工序中更成了不可或缺的一个工艺流...

发布时间：2020-06-17

据悉，国内重要的 12 英寸晶圆芯片制造厂及存储器芯片设计制造厂已对万业企业旗下凯世通集成电路离子注入设备启动认证程序，万业企业集成电路前道装备业务获得巨大突破。 万业企业表示，公司已明确凯世通以集成电路离子注入机为发展重心，对其在集成电路领域的销售策略及生产安排也做了相应的优先调整，积极开拓其他业务合作伙伴，日前也已取得离子注入平台业务订单。未来有望为全球先进制程逻辑、...

发布时间：2020-06-17

6月16日晚间，万业企业（600641.SH）就上交所年报问询进行了回复，进一步说明公司向集成电路领域转型的实施情况及产品进展等内容。公告显示，国内重要的12英寸晶圆芯片制造厂及存储器芯片设计制造厂已对万业企业旗下凯世通集成电路离子注入设备启动认证程序，万业企业集成电路前道装备业务获得巨大突破。 鉴于目前国际形势，芯片国产化需求日益迫切，在国内集成电路制造厂尽可能采购国内设备...

发布时间：2018-08-07

　　中证网讯 （记者 孙翔峰 实习记者 陈星颐、陈心怡）在8月6日下午举行的万业企业发行股份购买资产媒体说明会上，凯世通原实际控制人、董事长兼总经理陈炯表示，凯世通未来的发展重点方向为太阳能离子注入机和集成电路业务。 　　太阳能离子注入机方面，凯世通未来将继续对现有太阳能离子注入机的改进和升级，保持凯世通在太阳能离子注入机领域的技术和市场领先。 　　集成电路离子注入机领域，...

发布时间：2017-12-24

电子网消息，据国家国防科技工业局网站报道， 日前，中电科电子装备集团有限公司(以下简称电科装备)传来好消息，自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，首台200mmCMP设备实现了销售。这是电科装备承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项(以下简称02专项)所取得重大成果的缩影。　　 自2008年至今，电科装备共承担了02专项“9...

发布时间：2011-12-21

随着器件线宽和层厚的缩小，离子注入计量设备对硅片上杂质分布均匀性进行直接监测的能力已经开始受到限制。同时，特征尺寸的缩小和参数性能的要求，使关键注入参数的工艺窗口不断变窄，而离子束电流和硅片尺寸却在不断增大。这样一来，就使得通过测量平均偏差与标准偏差（SD，或分布展宽）来量化硅片上注入掺杂均匀性的传统方法，缺乏所需的统计信息来监测离子注入工艺。 National Semicon...

发布时间：2011-11-02

半导体设备有限公司维利安(VarianSemiconductorEquipmentAssociates)和正泰(Astronergy)公司表示，经过短短两个月的合作，他们通过使用维利安的沙里昂离子注入系统开发了新的生产工艺，从而使电池的效率得到了改进并简化了太阳能电池的制造流程。 这个过程是在全负荷生产的时候，通过减少工艺流程和生产步骤，提高晶体硅太阳能电池效率1%。正泰的首...

发布时间：2010-11-25

　　由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司，开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验，为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。 　　据了解，这是国产高端离子注入机首次进入300mm主流生产线，表明国内的离子注入机研制已经逐步达到世界主流技术水平。 　　北京中科信公司研制的65...