芯源微中标积塔半导体特色工艺生产线多台设备

招标平台信息显示，4月19日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目多台设备，分别是刷片机和抗反射层涂胶机，具体台数未做公布。

而今年3月积塔半导体发布一份招标信息显示，刷片机未5台，抗反射层涂胶机为1台。

（来源：招标平台）

沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业。芯源微官方消息显示，公司所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。

芯源微2021年报显示，全年营收8.29亿元，同比增长151.95%；研发投入金额9249.96万元，同比增长103.68%。