英飞凌推出基于MEMS的集成式先进超声波传感器， 赋能新型工业和医疗用例

【2025年2月6日, 德国慕尼黑讯】英飞凌科技股份公司在开发电容式微机械超声波传感器（CMUT）技术方面取得重大进展。凭借这项技术，公司推出首款高度集成的单芯片解决方案，该方案基于微机电系统（MEMS）的超声波传感器，拥有更小的占板面积以及更强大的性能和功能，可广泛用于开发新型超声波应用和改进消费电子、汽车工业与医疗技术领域的现有应用。

采用eWLB封装的CMUT

英飞凌科技高级总监Emanuele Bodini表示：“英飞凌的超声波技术可以实现很高的信噪比和集成度，因此我们认为该器件代表着行业的一大突破。我们希望利用这项技术开发出一个服务于不同行业多种应用场景的产品平台。”

与依靠材料本身变形的传统压电体材料不同，CMUT通过微加工半导体膜片的偏转来传输和检测超声波。凭借这一原理再加上小尺寸、低功耗和高性能的特点，该器件能够增强各种超声波应用。与单管解决方案相比，英飞凌的MEMS和ASIC 集成技术可将本底噪声降低到同等尺寸传统压电陶瓷材料的二十分之一，并将绝对信号增强一千倍。凭借在半导体设计和制造领域的专业经验，英飞凌可将先进技术应用于从消费电子到医疗设备等多个行业。

改进固态触控按钮

英飞凌的 CMUT 技术可在不使表面变形的情况下，在玻璃甚至金属等任何固体材料下实现固态触控按钮。这为传统的机械按钮提供了更加耐用、可靠的替代品，降低磨损风险，延长设备的整体使用寿命。与可能受湿度和温度等环境因素影响的电容式触控按钮相比，基于CMUT的触控按钮完全与水兼容，并具有高电磁兼容性（EMC）。由于该技术缩小了按钮的尺寸，因此可以集成从智能手机到工业控制面板等各种设备，例如能将触控按钮安装在手机金属框架下或取代汽车门把手，以实现整洁的设计。

液位感应

英飞凌的CMUT可使一些需要液位感应的家用电器设备受益。CMUT具有多项优势，包括可连续测量填充液位、功耗低，以及可轻松、无损地安装在水箱底部下方。由于接触式电极可能会被腐蚀，因此最后一点对于测量洗衣机或洗碗机中的化学物质等非常重要。

先进医疗应用

CMUT 技术还可用于开发使用超声波技术的创新医疗设备，例如用于生命体征监测、健康追踪和无创医疗诊断的可穿戴设备。借助CMUT技术，这些设备能进行连续监测和反馈，而非单次测量，因此能够更早地发现潜在的健康问题，并提高患者的治疗效果。由于尺寸小、功耗低，它们非常适用于可穿戴设备和定点照护应用。