中国长城官方：国内首台激光隐形晶圆切割机已研制成功

中国长城科技集团股份有限公司（以下简称“中国长城”）在投资者互动平台上表示，公司研制成功国内首台半导体激光隐形晶圆切割机消息属实。

新闻主体：中国长城科技集团股份有限公司（股票代码：000066）是由中国电子信息产业集团有限公司所属中国长城计算机深圳股份有限公司、长城信息产业股份有限公司、武汉中原电子集团有限公司、北京圣非凡电子系统技术开发有限公司四家骨干企业于 2017 年 1 月整合组成，同年 3 月完成注册，注册资本 29.28 亿元，总资产 216.71 亿元，净资产 82.96 亿元，在职员工 1.4 万人。

最近几年，中国长城通过实施创新引领、技术强企战略，走出从基础软件到整机、业务系统的全链条创新研发之路。利用中国架构 PKS 体系最新成果制造的长城电脑具有完全自主知识产权，是我国自主安全电脑的代名词。

图源：中国长城科技集团官网  下同

据悉，今年 5 月，中国长城官方消息显示，旗下郑州轨交院与河南通用成功研制出我国首台半导体激光隐形晶圆切割机，填补国内空白，在关键性能参数上处于国际领先水平。

我国半导体激光隐形晶圆切割技术取得实质性重大突破，相关装备依赖进口的局面即将打破。该装备通过采用特殊材料、特殊结构设计、特殊运动平台，可以实现加工平台在高速运动时保持高稳定性、高精度，运动速度可达 500mm/S，效率远高于国外设备。

在光学方面，根据单晶硅的光谱特性，结合工业激光的应用水平，采用了合适的波长、总功率、脉宽和重频的激光器，最终实现了隐形切割。

在影像方面，采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相机，配以不同功效的镜头，实现了产品轮廓识别及低倍、中倍和高倍的水平调整。

该装备还搭载了同轴影像系统，可以确保切割中效果的实时确认和优化，实现最佳切割效果。高端智能装备是国之重器，是制造业的基石，尤其是半导体领域内高端智能装备，在国民经济发展中更是具有举足轻重的作用。

专家评价首台半导体激光隐形晶圆切割机研制成功，对进一步提高我国智能装备制造能力具有里程碑式的意义。在中国长城股东大会上，董秘王习发对半导体激光隐形晶圆切割机进展及量产可能做出回应，今年可以期待有小批量。