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中科米点突破高端MEMS传感器技术,实现新一代六维力传感器

2025-10-12 来源: MEMS

近日,安徽中科米点传感器有限公司宣布,其在高端MEMS传感器技术研发方面取得里程碑式进展:成功开发出基于MEMS应变片+玻璃微熔技术的新一代六维力传感器。


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硅基MEMS应变片晶圆


中科米点研发团队通过优化六维力传感器工艺工序,采用玻璃微熔技术实现了MEMS应变片与不锈钢基体的高可靠性集成。该技术路径摒弃了存在固有缺陷的传统树脂粘接方案,使得六维力传感器产品的长期一致性、稳定性及抗干扰能力获得数量级提升,同时也实现了更具竞争力的成本控制。


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显微镜下的MEMS应变片


中科米点开发的MEMS应变片具有高灵敏度、大量程、低功耗、无迟滞、小体积等优点,参数如下:


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核心优势:


- 性能突破:产品综合精度表现卓越,温度漂移等关键指标稳定控制在0.005% FS/℃。


- 可靠性跃升:解决了传统六维力传感器等老化和蠕变问题,适用于对可靠性要求极高的工业场景。


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中科米点开发的六维力传感器


- 成本优化:新工艺兼具高性能与规模化生产优势,为客户提供更优质的性价比选择。


该MEMS应变片将在多个高端应用场景中测试应用,例如汽车安全领域在碰撞测试中精准模拟人体颈部受力状态;新能源安全领域可在电化学储能系统中有效预警电池热失控风险;工业机器人及人形机器人领域可为精密装配、打磨、人形姿态协调力控反馈发挥重要作用。


这项高端MEMS传感器技术突破是中科米点坚持核心技术自主研发的重要成果,有效打破了我国高端六维力传感器长期依赖进口的局面。展望未来,中科米点将持续投入研发,深化六维力传感器在工业机器人、智能驾驶、商业航天等前沿领域的应用,致力于成为全球高端传感器市场的核心参与者,为中国智能制造贡献一份力量。


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