S500自动参数测试系统的功能特点及适用范围

S500自动参数测试系统基于吉时利公司的高性能源表及电测技术，可完成各种直流、交流信号测试，可广泛用于半导体工艺制程的过程监控、重复性监控及器件检测领域。吉时利公司拥有超过30年的半导体工业测试经验，在全世界范围内拥有众多半导体工业化客户，特推出的S500自动参数测试系统可以持续助力半导体产业的发展。

产品特点：

• 性价比最高的全自动参数测试系统；

• 灵活度高，测试速度快，可广泛应用于半导体产业中的各个测试领域；

• 三种基本系统配置选择，满足不同种类用户需求：1. 满足一般工艺监控的基本配置；2. 满足CMOS测试要求的小电流配置；3. 满足大功率器件测试要求的大电压配置；

• 搭配全自动探针台实现片上全自动测试；

• 可灵活扩展电压、电流测试范围，满足各类测试需求；

• 性能卓越的测试技术保证了系统的高精度性，既可满足实验室要求，也可满足工业化要求。

如2600-PCT-xb测试系统配备吉时利的S500系列自动测试系统，就可以实现全自动快速测试，通过预设程序配合自动探针台可在短时间内完成片上测试，非常适于大批量工业化的半导体器件测试使用。