半导体制造技术
共4课时 1小时33分7秒秒
简介
半导体制造技术是半导体产业发展的基础,制造技术水平的高低直接影响半导体产品的性能及其发展。光刻,刻蚀,沉积,扩散,离子注入,热处理和热氧化等都是常用的半导体制造技术
朱永伟,南京航空航天大学教授、博导,机电学院052系教学主任。研究方向:纳米材料的制备与应用; 精密超精密加工; 表面工程。社会兼职:中国工程陶瓷学会理事,江苏省复合功能材料学.
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