半导体器件物理 (施敏 台湾交通大学)
共46课时 6小时16分23秒秒
简介
本课程的内容由浅而深循序渐进,从基础的物理和电容器结构的基本运作,接续讨论MOSFET及NVSM之结构与操作,可让修课的学生一窥半导体最重要元件的奥妙。
1. 半导体物理(Semiconductor Physics)
2. p-n接面的概念(p-n Junction)
3. 金氧半电容(MOS Capacitor)
4. 金氧半场效晶体管(MOSFET)
5. 非挥发性半导体内存(Non-Volatile Semiconductor Memory, NVSM)
施敏(Simon M·Sze) 美国国籍,微电子科学技术、半导体器件物理专家,台湾交通大学电子工程学系毫微米元件实验室教授,美国国家工程院院士,中国工程院外籍院士。
1936年出生,1957年毕业于台湾大学,1960年、1963年分别获得华盛顿大学和斯坦福大学硕士与博士学位,1963年至1989年在贝尔实验室工作。2014年5月14日受聘哈尔滨工业大学荣誉教授。
施敏博士是国际知名的微电子科学技术与半导体器件专家和教育家。
他在金半接触、微波器件及次微米金属半场效应晶体技术等领域都有开创性的贡献。他是非挥发MOS场效应记忆晶体管(MOSFET)的发明者,这项发明已成为世界集成电路产业主导产品之一,90年代初其产值已达100亿美元,是移动电话、笔记本电脑、IC卡、数码相机及便携式电子产品的关键部件。此外,他还有多项创造性成果,如80年代初首先以电子束制造出线宽为0.15μm MOSFET器件,首先发现崩溃电压与能隙的关系,建立了微电子元件最高电场的指标,如此等等。
施敏博士在微电子科学技术著作方面举世闻名,对半导体元件的发展和人才培养方面作出贡献。他的三本专著已在我国翻译出版,其中《Physics of Semiconductor Devices》已翻译成六国文字,发行量逾百万册;他的著作广泛用作教科书与参考书。1991年他得到IEEE电子器件的最高荣誉奖(Ebers奖),称他在电子元件领域做出了基础性及前瞻性贡献。
1936年出生,1957年毕业于台湾大学,1960年、1963年分别获得华盛顿大学和斯坦福大学硕士与博士学位,1963年至1989年在贝尔实验室工作。2014年5月14日受聘哈尔滨工业大学荣誉教授。
施敏博士是国际知名的微电子科学技术与半导体器件专家和教育家。
他在金半接触、微波器件及次微米金属半场效应晶体技术等领域都有开创性的贡献。他是非挥发MOS场效应记忆晶体管(MOSFET)的发明者,这项发明已成为世界集成电路产业主导产品之一,90年代初其产值已达100亿美元,是移动电话、笔记本电脑、IC卡、数码相机及便携式电子产品的关键部件。此外,他还有多项创造性成果,如80年代初首先以电子束制造出线宽为0.15μm MOSFET器件,首先发现崩溃电压与能隙的关系,建立了微电子元件最高电场的指标,如此等等。
施敏博士在微电子科学技术著作方面举世闻名,对半导体元件的发展和人才培养方面作出贡献。他的三本专著已在我国翻译出版,其中《Physics of Semiconductor Devices》已翻译成六国文字,发行量逾百万册;他的著作广泛用作教科书与参考书。1991年他得到IEEE电子器件的最高荣誉奖(Ebers奖),称他在电子元件领域做出了基础性及前瞻性贡献。
章节
- 课时1:摘要 (1分44秒)
- 课时2:课程介绍 电子与半导体产业的演进 (9分4秒)
- 课时3:半导体原件基本架构与类型、半导体原件与电路技术发展 (10分41秒)
- 课时4:元件技术发展走势 (5分59秒)
- 课时5:半导体材料与晶体结构 (20分4秒)
- 课时6:价键与能带 (13分23秒)
- 课时7:本质载子浓度 (16分47秒)
- 课时8:施体与受体 (18分19秒)
- 课时9:载子漂移drift 1 (12分20秒)
- 课时10:载子漂移drift 2 (15分17秒)
- 课时11:载子扩散diffusion (7分53秒)
- 课时12:载子产生与重合 (10分59秒)
- 课时13:连续方程式 (18分39秒)
- 课时14:热发射thermionic_emission与穿隧 (6分43秒)
- 课时15:空间电荷与高电场效应 (11分33秒)
- 课时16:基本半导体技术 (8分26秒)
- 课时17:热平衡状态 (12分33秒)
- 课时18:空乏区与空乏电容1 (12分15秒)
- 课时19:空乏区与空乏电容2 (10分25秒)
- 课时20:电流电压特性1 (16分42秒)
- 课时21:电流电压特性2 (12分10秒)
- 课时22:储存电荷 (5分19秒)
- 课时23:接面崩溃 (13分37秒)
- 课时24:理想MOS电容器1 (5分57秒)
- 课时25:理想MOS电容器2 (5分46秒)
- 课时26:SiO2Si MOS电容器 (4分48秒)
- 课时27:绝缘层中的载子传输与崩溃 (6分59秒)
- 课时28:MOSFET简介 (5分55秒)
- 课时29:基本操作特性1 (5分56秒)
- 课时30:基本操作特性2 (5分46秒)
- 课时31:元件类型与启始电压阈值电压 (5分10秒)
- 课时32:短通道效应 (3分38秒)
- 课时33:元件结构与设计 (6分3秒)
- 课时34:CMOS逆变器及新型MOSFET简介 (5分17秒)
- 课时35:MSRAMDRAM与半导体简介 (5分10秒)
- 课时36:非易失性半导体存储器NVSM简介 (3分52秒)
- 课时37:浮栅概念 (4分4秒)
- 课时38:浮栅NVSM的历史发展 (6分37秒)
- 课时39:NVSM的应用 (4分58秒)
- 课时40:扩展挑战 (2分56秒)
- 课时41:替代设备结构 (3分44秒)
- 课时42:专访一 对大三学生的期勉 (1分35秒)
- 课时43:专访二 不用手机的发明家 (2分18秒)
- 课时44:专访三 那一年我们一起待的bell lab (4分25秒)
- 课时45:专访四发明NVSM (2分31秒)
- 课时46:专访五 对未来科技业的预言 (2分6秒)
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