MEMS研究设计创新方案介绍——0.001秒实时3D形貌检测
MEMSAnalysisTool是一个后分析软件。它提供了量化和精确的3D空间和频率分析,时间序列的形貌图(4D),通过DHM同时拍摄面内和离面运动,离面运动精度达到MEMS激光测振仪精度,面内运动精度则远超MEMS测振仪精度,达到了1nm。MEMSAnalysisTool是基于DHM数字全息显微镜一款软件,数字全息显微镜DHM基于菲涅尔衍射的重建算法,仅需0.001秒采集单张全息图即可得到实时3D形貌信息,无需扫描,在MEMS的设计与研究中有着