一种新颖的电子式PS压力传感器
本帖最后由jameswangsynnex于2015-3-320:00编辑一看到传感器字样,想是以后用的到,先收藏,呵呵概述---PS压力传感器是一种利用半导体膜片结构制成的电子式压力传感器,它可将空气压力这一物理量变换成电信号,并能够高精度、线性地检测出压力的变化。它是松下电工公司近年推出的新产品。工作原理---图1为PS压力传感器的截面结构图,图2为其传感器部分的结构。如图所示,在压力传感器半导体硅片上有一层扩散电阻体,如果对这一电阻体施加压力,由于压电电阻效应,其电