本课程为精品课，您可以登录eeworld继续观看： 微电子工艺有什么特点？继续观看 课时1：绪论：微电子工艺是讲什么的？ 课时2：微电子工艺的发展历程如何？ 课时3：微电子工艺有什么特点？ 课时4：单晶硅特性（上） 课时5：单晶硅特性（中） 课时6：单晶硅特性（下） 课时7：多晶硅制备；1.2单晶生长-CZ法 课时8：单晶生长-原理 课时9：单晶生长-掺杂 课时10：单晶生长-MCZ与FZ法 课时11：硅片的加工 课时12：硅片介绍 课时13：外延概述 课时14：气相外延-1硅工艺 课时15：气相外延-2原理 课时16：气相外延-3速率 课时17：气相外延-4掺杂 课时18：气相外延-5设备与技术 课时19：分子束外延 课时20：其它外延方法 课时21：外延层缺陷及检测 课时22：电阻率测量 课时23：概述-1性质与用途 课时24：概述-2杂质与掩蔽 课时25：硅热氧化-1工艺 课时26：硅的热氧化-2机理 课时27：硅的热氧化-3DG模型 课时28：硅的热氧化-4速率 课时29：硅热氧化-5影响因素 课时30：初始氧化 课时31：杂质再分布-1分凝 课时32：杂质再分布-2硅表面浓度 课时33：氧化层检测-1厚度 课时34：氧化层检测-2成膜质量 课时35：氧化层厚度估测实验 课时36：其它氧化方法 课时37：扩散机构 课时38：扩散方程-1菲克定律 课时39：扩散方程-2扩散系数 课时40：扩散掺杂-1恒定源 课时41：扩散掺杂-2限定源 课时42：影响杂质分布因素-1点缺陷 课时43：影响杂质分布因素-2氧化增强 课时44：影响杂质分布因素-3发射区推进 课时45：扩散条件与方法-1方法选择 课时46：扩散条件与方法-2扩散工艺 课时47：质检与测量-1结深 课时48：质检与测量-2表面浓度 课时49：pn结结深测量实验 课时50：扩散工艺的发展 课时51：离子注入概述 课时52：离子注入原理-1 课时53：离子注入原理-2 课时54：离子注入原理-3 课时55：注入离子分布-1,2分布 课时56：注入离子分布-3沟道效应 课时57：注入离子分布-4其它影响 课时58：注入损伤-1 课时59：注入损伤-2 课时60：退火-1热退火 课时61：退火-2快速退火 课时62：设备与工艺 课时63：应用 课时64：掺杂新技术 课时65：CVD概述 课时66：CVD原理-1过程 课时67：CVD原理-2速率 课时68：CVD原理-3质量 课时69：CVD工艺方法-1AP-2LP 课时70：CVD工艺方法-3等离子体(上） 课时71：CVD工艺方法-3等离子体(下） 课时72：CVD工艺方法-4PE-5HDP（新） 课时73：二氧化硅薄膜-1性质 课时74：二氧化硅薄膜-2制备 课时75：氮化硅薄膜 课时76：多晶硅薄膜 课时77：CVD金属及金属化合物薄膜 课时78：PVD-1概述 课时79：PVD-1真空简介 课时80：PVD-2真空的获得 课时81：蒸镀-1原理 课时82：蒸镀-2设备、工艺 课时83：蒸镀-3质量 课时84：溅射-1原理 课时85：溅射-2方法 课时86：溅射-3质量 课时87：PVD金属及化合物薄膜 课时88：光刻02--光刻技术 课时89：光刻掩膜板制造技术 课时90：光刻--光刻胶 课时91：光刻--紫外曝光技术 课时92：光刻--光刻增强技术 课时93：其它曝光技术 课时94：其它曝光技术(2) 课时95：光刻新技术展望 课时96：光刻引言 课时97：光刻工艺 课时98：光刻分辨率 课时99：光刻分辨率--2 课时100：刻蚀技术--概述 课时101：湿法刻蚀技术 课时102：刻蚀技术--干法刻蚀技术 课时103：刻蚀技术--SiO2薄膜的干法刻蚀技术 课时104：刻蚀技术--多晶硅等其它薄膜的干法刻蚀技术 课时105：工艺集成--金属化与多层互连 课时106：工艺集成--金属化之尖楔现象 课时107：工艺集成--集成电路中的隔离技术 课时108：CMOS集成电路的工艺集成 课时109：双极型集成电路的工艺集成 课时110：结束语我的中国芯 课程介绍共计110课时，11小时37分37秒 微电子工艺(哈尔滨工业大学) 本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。 本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。 使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。 上传者：老白菜 猜你喜欢 东南大学数字信号处理 IOT-ARM体系结构与编程 Linux内核分析与应用 西安邮电大学(陈莉君) fpga系统设计实践 matlab机器学习（英语中字） Arduino 电磁场辐射（EMF）探测器 国嵌Linux应用班 SlimSensor技术消除显示屏噪声的影响 热门下载 [资料]-JIS C2315-2-2010 电气用途的硬化纤维.第2部分：试验方法.pdf [资料]-JIS C8119-1-1999 放电灯具的镇流器(管状荧光灯除外).第1部分：一般要求和安全要求.pdf [资料]-JIS C5965-3-1-2011 光ファイバコネクタ光学互換－第３－１部：シングルモード光ファ.pdf [资料]-JIS T1305-1985 直观式血压监视装置.pdf [资料]-JIS F7304-1996 造船.16K青铜角阀.pdf [资料]-JIS B8224-2005 Boiler feed water and boiler water-Testing methods.pdf [资料]-JIS W0601-1990 Aerospace -- Pipelines -- Identification.pdf [资料]-JIS Z 3264：1998 Copper phosphorus brazing filler metals.pdf [资料]-JIS T3233-2005 静脉血样采集用一次性真空容器.pdf [资料]-JIS B8378-2-2000 气液动力.压缩空气润滑器.第2部分预定列入供应商资料中的产品主要特性的测定试验方法.pdf 热门帖子 高压放大器在DE材料的动力学分析中的应用 实验名称：DE材料的动力学分析 测试目的：DE材料驱动实验过程中，除了静态变形，也会应用于需要承受循环载荷的场合。例如仿生鱼尾摆动和爬行机器人爬行前进。因而需要对材料在交变电压下的动态性能进行研究。在结构动态特性研究中，固有频率是其关键特性。基于虚功原理对薄膜驱动器面内振动进行分析。 测试设备：高压放大器、函数发生器、激光传感器、数据采集卡等。 实验过程： 实验方案应用双轴拉伸平台，采用预拉伸倍数为300%*300%的矩形DE致动器做为实验对象，对正弦 aigtek01 谐波减速器全部知识 一、谐波减速器的定义与结构谐波减速器是一种减速装置，主要由柔轮、刚轮及波发生器三个构件组成，在某些定义下还包括柔性轴承，它是基于谐波传动原理工作的元件，是上世纪50年代后期发展出的一种新型齿轮传动方式，依靠波发生器与柔轮装配后，在旋转过程中迫使柔轮产生弹性变形与刚轮齿圈啮合来传递运动和动力。二、谐波减速器的工作原理 结构组成与初始状态谐波减速器由刚轮（带有内齿圈的刚性齿轮）、柔轮（带有外齿圈的柔性齿轮）和波发生器三个主要构件组成。波发生器是主动件，刚轮 朱氏蚂蚁-小刘 HMC5883磁阻传感器使用例子 本例子仅供参考，有什么不足的地方还请多多包涵哈！直奔主题了，程序如下/***************************************************************************原创重庆三峡学院创新实验室唐老鸭***************************************************************************/#include\"lcd1602.h\" tcvsdonnnie EE TALK——扒一扒你身边的智能家居/可穿戴 智能家居的风刮了又刮，可穿戴的概念也火了这两年，作为寻常百姓，他们真的走进你的生活了吗？本期EETALK话题：扒一扒你身边的智能家居/可穿戴，欢迎大家跟帖，分享你对这个问题的看法。问题1：如果价格可以接受，你会为自己或家人买可穿戴设备吗？问题2：如果给你一次重新装修的机会，你会把智能家居引入家门吗？你觉得哪一方面最应该智能化？EETALK——扒一扒你身边的智能家居/可穿戴本帖最后由jameswangsynnex于2015 eric_wang STM32用到的TFT屏幕资料及例程.欢迎补充 既然有人需要TFT屏资料.放假在家也没什么事.整理一下自己手头有的吧.做个抛砖引玉.希望大家能吧自己方便分享的资料都上传上传~STM32用到的TFT屏幕资料及例程.欢迎补充红牛的东西很火啊貌似哈哈哈，不过板子却是很漂亮啊呵呵恰好我手头有几块回复沙发鑫海宝贝的帖子我去你还有几块哈哈哈，真富有啊，812158980我qq加我，方便交流回复板凳astwyg的帖子加了.都是老师的...回复4楼鑫海宝贝的帖子那你也很幸福啊哈哈哈回复5楼astwyg的帖子路 astwyg Easy 51 软件.rar Easy51软件.rarEasy51软件.rar:P:L看看怎么样，谢谢楼主51单片机C语言开发详解看起来不错的样子啊 Rick37 网友正在看 MSP432产品培训(二)：中断管理 verilog delay 集合的检索 (3) 高侧和低侧电流感应监控的实现 电容式传感器 Linux网络驱动实验-I.MX6ULL网络驱动之fec_probe函数简析 SAR 和 Delta Sigma ADC基础知识 Allegro软件导入网表以后，为什么在PCB板上看不到元器件呢？
