本课程为精品课,您可以登录eeworld继续观看: 双极型集成电路的工艺集成继续观看 课时1:绪论:微电子工艺是讲什么的? 课时2:微电子工艺的发展历程如何? 课时3:微电子工艺有什么特点? 课时4:单晶硅特性(上) 课时5:单晶硅特性(中) 课时6:单晶硅特性(下) 课时7:多晶硅制备;1.2单晶生长-CZ法 课时8:单晶生长-原理 课时9:单晶生长-掺杂 课时10:单晶生长-MCZ与FZ法 课时11:硅片的加工 课时12:硅片介绍 课时13:外延概述 课时14:气相外延-1硅工艺 课时15:气相外延-2原理 课时16:气相外延-3速率 课时17:气相外延-4掺杂 课时18:气相外延-5设备与技术 课时19:分子束外延 课时20:其它外延方法 课时21:外延层缺陷及检测 课时22:电阻率测量 课时23:概述-1性质与用途 课时24:概述-2杂质与掩蔽 课时25:硅热氧化-1工艺 课时26:硅的热氧化-2机理 课时27:硅的热氧化-3DG模型 课时28:硅的热氧化-4速率 课时29:硅热氧化-5影响因素 课时30:初始氧化 课时31:杂质再分布-1分凝 课时32:杂质再分布-2硅表面浓度 课时33:氧化层检测-1厚度 课时34:氧化层检测-2成膜质量 课时35:氧化层厚度估测实验 课时36:其它氧化方法 课时37:扩散机构 课时38:扩散方程-1菲克定律 课时39:扩散方程-2扩散系数 课时40:扩散掺杂-1恒定源 课时41:扩散掺杂-2限定源 课时42:影响杂质分布因素-1点缺陷 课时43:影响杂质分布因素-2氧化增强 课时44:影响杂质分布因素-3发射区推进 课时45:扩散条件与方法-1方法选择 课时46:扩散条件与方法-2扩散工艺 课时47:质检与测量-1结深 课时48:质检与测量-2表面浓度 课时49:pn结结深测量实验 课时50:扩散工艺的发展 课时51:离子注入概述 课时52:离子注入原理-1 课时53:离子注入原理-2 课时54:离子注入原理-3 课时55:注入离子分布-1,2分布 课时56:注入离子分布-3沟道效应 课时57:注入离子分布-4其它影响 课时58:注入损伤-1 课时59:注入损伤-2 课时60:退火-1热退火 课时61:退火-2快速退火 课时62:设备与工艺 课时63:应用 课时64:掺杂新技术 课时65:CVD概述 课时66:CVD原理-1过程 课时67:CVD原理-2速率 课时68:CVD原理-3质量 课时69:CVD工艺方法-1AP-2LP 课时70:CVD工艺方法-3等离子体(上) 课时71:CVD工艺方法-3等离子体(下) 课时72:CVD工艺方法-4PE-5HDP(新) 课时73:二氧化硅薄膜-1性质 课时74:二氧化硅薄膜-2制备 课时75:氮化硅薄膜 课时76:多晶硅薄膜 课时77:CVD金属及金属化合物薄膜 课时78:PVD-1概述 课时79:PVD-1真空简介 课时80:PVD-2真空的获得 课时81:蒸镀-1原理 课时82:蒸镀-2设备、工艺 课时83:蒸镀-3质量 课时84:溅射-1原理 课时85:溅射-2方法 课时86:溅射-3质量 课时87:PVD金属及化合物薄膜 课时88:光刻02--光刻技术 课时89:光刻掩膜板制造技术 课时90:光刻--光刻胶 课时91:光刻--紫外曝光技术 课时92:光刻--光刻增强技术 课时93:其它曝光技术 课时94:其它曝光技术(2) 课时95:光刻新技术展望 课时96:光刻引言 课时97:光刻工艺 课时98:光刻分辨率 课时99:光刻分辨率--2 课时100:刻蚀技术--概述 课时101:湿法刻蚀技术 课时102:刻蚀技术--干法刻蚀技术 课时103:刻蚀技术--SiO2薄膜的干法刻蚀技术 课时104:刻蚀技术--多晶硅等其它薄膜的干法刻蚀技术 课时105:工艺集成--金属化与多层互连 课时106:工艺集成--金属化之尖楔现象 课时107:工艺集成--集成电路中的隔离技术 课时108:CMOS集成电路的工艺集成 课时109:双极型集成电路的工艺集成 课时110:结束语我的中国芯 课程介绍共计110课时,11小时37分37秒 微电子工艺(哈尔滨工业大学) 本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识,重点阐述了芯片制造单项工艺,包括:外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备,以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解,为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。 本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述,并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。 使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途;熟悉主要工艺设备及检测仪器;了解典型集成电路芯片的制造流程。 上传者:老白菜 猜你喜欢 直流有刷电机介绍和H桥驱动电路基础 合见工软小课堂——先进封装需要怎样的EDA工具“神助攻”? 设计指南-数字电位器 如何自动对电机进行调优 Microchip白金等级720W AC/DC数字电源设计方案 RT thread env 视频 智能拐杖 直播回放: 是德科技测试测量峰会 - 高速数字论坛 热门下载 [资料]-JIS C2315-2-2010 电气用途的硬化纤维.第2部分:试验方法.pdf [资料]-JIS C8119-1-1999 放电灯具的镇流器(管状荧光灯除外).第1部分:一般要求和安全要求.pdf [资料]-JIS C5965-3-1-2011 光ファイバコネクタ光学互換-第3-1部:シングルモード光ファ.pdf [资料]-JIS T1305-1985 直观式血压监视装置.pdf [资料]-JIS F7304-1996 造船.16K青铜角阀.pdf [资料]-JIS B8224-2005 Boiler feed water and boiler water-Testing methods.pdf [资料]-JIS W0601-1990 Aerospace -- Pipelines -- Identification.pdf [资料]-JIS Z 3264:1998 Copper phosphorus brazing filler metals.pdf [资料]-JIS T3233-2005 静脉血样采集用一次性真空容器.pdf [资料]-JIS B8378-2-2000 气液动力.压缩空气润滑器.第2部分预定列入供应商资料中的产品主要特性的测定试验方法.pdf 热门帖子 CES 2025 “AI+一切”成为关键趋势 一年一度的全球最大科技界盛会2025CES(国际消费电子展)以Divein为主题,强调人类与创新技术的结合,探索如何潜入未来,吸引了来自全球的4500多家企业参加,其中有1/3左右是中国的企业。尤其是AI技术在各个领域的全面应用,让我们大开眼界的同时,有机会透过这些现代科技看见更美好的未来。作为AI芯片领域的领军者,英伟达CEO黄仁勋重磅发布了新一代GeForceRTX50系列显卡。还首次发布了世界模型CosmosNemotr 益莱储 物联网网关中常见的接口的静电放电防护和浪涌防护 物联网网关是将不同网络之间进行数据转换的设备,通常用于工业自动化领域中。可以将各种传统工业网络和现代通信网络进行互联,实现设备间的数据交换和通信。在工业自动化中,物联网网关是重要的基础设施之一。而在物联网网关中,各种接口是关键的部分之一。物联网网关主要有以下接口:一、串口接口 串口接口是物联网网关中最常见的接口之一。通常用于连接各种工业设备,如PLC、传感器、仪表等。串口接口通常使用RS-232或RS-485协议进行通信,可以实现双向数据传输。由于工业设备的特殊性,串口接口通常需 langtuodianzi PIC单片机16系列的使用什么编译器 各位大侠,我现在在学习PIC18系列的单片机,安装的集成开发环境是MPLABIDEv8.89,c语言编译器是正版MCC18_V3.00,好像这个编译器只能对PIC18系列的,我想要开发PIC16系列的单片机,该使用哪个c语言编译器呢?还有一点是两个系列的编译器可以同时安装吗?不会起什么冲突吧谢谢大虾们!!!!!!在这里感激不尽!!!!!!PIC单片机16系列的使用什么编译器以前用PICC16,HiTechC,现在是XC8。这个编译器可以跟MCC18同时安装使用吗?谢谢了官方 werjufour 新人,用51,做指针式万年历,求有资料的大神帮助 新人,用51,做指针式万年历,求有资料的大神帮助。时分秒用指针表盘显示新人,用51,做指针式万年历,求有资料的大神帮助这位同学,伸手党还是不要做了有问题可以提出来讨论就你现在这个阶段需要的资料百度上都有的用51驱动步进电机即可实现。 李晓 如何在ccs编写c程序,机械零件的分类及参数测量 如何在ccs编写c程序,机械零件的分类及参数测量如何在ccs编写c程序,机械零件的分类及参数测量问题太笼统了能详细点吗?littleming1028发表于2014-11-1120:09问题太笼统了能详细点吗? 数字图像处理方面。涉及到数字图像边缘提取,图像采集,参数测量等。 nengneng3389 单片机做正弦波发生器 我想用单片机输出2组方波,相位差180,之后想得到正弦波,用于给电感式传感器提供励磁信号,不知相敏这块怎么做啊?单片机做正弦波发生器载波比是几?20啊我还是对2路正弦波的作用搞不明白啊,,一路给初级线圈提供励磁信号,另一路不知具体原因了啊顶起啊,传感器输出正弦波经放大到相敏整流,相敏整流的参考信号是另一路正弦波,请问这部分图怎么画呢?传感器输出正弦波经放大到相敏整流,相敏整流的参考信号是另一路正弦波,请问这部分图怎么画呢?诗水蛇山神庙 mikehello 网友正在看 讲座视频第一部分 - 开关 计算机硬件 Microchip SAM单片机的外设特点和案例实践培训教程 使用SimpleLink解决方案开发蓝牙低功耗应用3 爬山搜索算法 PADS LOGIC 9.5 变量文本 DS1302实时时钟实验--硬件设计 实例-TSSOP20芯片的PCB封装创建