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课程介绍共计110课时，11小时37分37秒

微电子工艺(哈尔滨工业大学)

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。


使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。

上传者：老白菜
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每天至少10页，希望两月拿下！
本帖最后由dontium于2015-1-2311:19编辑每天至少10页，希望两月拿下！这本书很经典啊加油楼主加油！支持你！！支持，多发心得，分享经验。注意消化，别吃撑了加油啊哎，看英文版的目前还是梦想牛人楼主是要每天翻译10页，2月全部翻译成中文；发上来分享吗？顶楼主，从哪里搞到这么高难地书撒！！！！这本书得多少钱啊？楼主加油！欲速则不达加油，偶就坚持不下来每天至少10页，希望两月拿下！英文的啊对我很难啊
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